Y-MIC-12xx Measurement Logs

NEW

Dieses Produkt wurde durch das folgende neue Produkt abgelöst: U-521 PILine® Lineartisch

Ergänzende Nachweise der Präzision, Dynamik und Vakuumtauglichkeit

Messungen von Position, Neigen, Gieren, Geradheit und Ebenheit
Dynamikmessungen der kleinsten Schrittweite und Geschwindigkeit
Hoch- und Ultrahochvakuummessungen (HV & UHV), in bis zu 240 l-Kammern

Beispielhafte Restgasanalyse (RGA) einer vakuumtauglichen L-509 Linearachse für das Hochvakuum.

Beispielhafte Abpumpkurve einer vakuumtauglichen L-509 Linearachse für das Hochvakuum. Nach 48 h Abpumpen wird ein Druck im Bereich von 10-7 hPa erreicht.

Auf Anfrage können ergänzende Messungen bei PI durchgeführt werden, um die Leistungswerte der Produkte detailliert zu ermitteln und einzeln nachzuweisen. Dadurch können für den speziellen Anwendungsfall die notwendigen Messdaten mittels verschiedener Parameter zusammengestellt und einzeln dokumentiert werden.

Produktoberflächen, Dynamik- und Bewegungsprofile kombinierter Produkte können mittels Interferometern gemessen und separat nachgewiesen werden.

Für vakuumgeeignete Produkte können in Vakuumkammern mit einem Volumen von 10 l bzw. 240 l Restgasanalysen (RGA) durchgeführt werden. Dabei wird während des gesamten Tests der Kammerdruck aufgezeichnet. Am Ende des Tests wird die RGA (0 - 200 amu) durchgeführt. Als Ergebnis werden der Druckverlauf der einzelnen Phasen (Abpumpen, Ausheizen, Abkühlen) sowie das RGA-Spektrum bereitgestellt. Auf Anfrage können zusätzliche RGA-Spektren, z. B. nach dem Abpumpen bzw. nach dem Ausheizen, aufgenommen werden.

Die Messprotokolle sind nur für spezielle Produkte verfügbar. Wenden Sie sich für weitere Informationen an unseren Kundendienst.

Spezifikationen

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Y-MIC-1261

Messprotokoll für Positionsstabilität, Neigen (xry), Gieren (xrz)

Y-MIC-1262

Messprotokoll für Geradheit (xty)

Y-MIC-1263

Messprotokoll für Ebenheit (xtz)

Y-MIC-1264

Messprotokoll für kleinste Schrittweite

Y-MIC-1266

Messprotokoll für Positionsstabilität von Rotationstischen

Y-MIC-1267

Messprotokoll für Rundlauf von Rotationstischen

Y-MIC-1268

Messprotokoll für Geschwindigkeit

Y-MIC-1270

Vakuumtest HV 10 l-Kammer, 24 h Auspumpen bei Raumtemperatur

Y-MIC-1271

Vakuumtest HV 240 l-Kammer, 48 h Auspumpen bei Raumtemperatur

Y-MIC-1272

Vakuumtest UHV 10 l-Kammer, 24 h Auspumpen bei Raumtemperatur - 24 h Ausheizen bei 120 °C oder 150 °C - 24 h Abkühlen

Y-MIC-1273

Vakuumtest UHV 240 l-Kammer, 24 h Auspumpen bei Raumtemperatur - 48 h Ausheizen bei 120 °C oder 150 °C - 24 h Abkühlen

Sonderausführung auf Anfrage Anfrageliste

Y-MIC-12xx Measurement Logs

Ergänzende Nachweise der Präzision, Dynamik und Vakuumtauglichkeit

Individuelle und detaillierte Testzusammenstellung

Ergänzende Messungen der Präzision, Geometrie und Dynamik

Ergänzende Messungen in Vakuumumgebungen

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