目前，尽可能提高定位精度是许多应用领域的迫切要求。半导体制造、显微技术、表面测量技术、生物技术、医学工程及自动化技术领域往往需要具有纳米级分辨率和可重复性的定位系统。除此之外，响应时间短、真空兼容设计及适用温度范围广也是在选择定位系统时的重要考量因素。
