PI社の多軸ピエゾフレクシャステージでは、チップ、チルト、およびヨーイングのモーションを含む最大6軸まで、サブナノメートルの精度での位置決めとスキャン動作が可能です。ラインナップには、最もコンパクトなキューブ型から、大開口かつ薄型の製品まで含まれます。

PIFOC®/PInano®シリーズのピエゾフレクシャステージと対物スキャナーは、位置決めおよびスキャンのタスクにおいて、ハイダイナミクス動作を実現します。標準製品として、光軸に平行および垂直なXY方向の試料位置決めと、Z軸方向の対物レンズフォーカスが可能な、適応性の高いソリューションを提供しています。

PI社のナノポジショニングステージとスキャナーでは、ナノメーターの分解能とガイド精度を、クロストークが最小となるように組み合わせています。このため、計測の基準としての用途や微細プロセス、干渉計、あるいは半導体チップ生産における検査システムなどに、特に適しています。

高精度2軸ナノポジショニングシステムでは、PICMA®ピエゾアクチュエータを採用し最高の信頼性を実現しています。同時に、高品質なナノ計測センサーを用いることにより、再現性と高い安定性を備えたドリフトフリーな位置決めが可能となります。

最高精度の3軸ナノポジショニングスキャナー

ピエゾフレクシャミラープラットフォームの高い剛性により、ハイダイナミクスと優れた位置決め安定性が実現します。このコンパクトなデバイスは、レーザー加工やレーザーステアリングにおけるビームの偏向に広く使用されています。パラレルキネマティック設計であるため、共通の回転中心が固定されて偏光方向に変化がなく、チップ軸とチルト軸で同じ性能を発揮します。

設置スペースが限られている場合、位置決め作業には小型ステージが不可欠です。Q-motion、PIline®、PiezoWalk®のようなピエゾモーターはダイレクトドライブを採用しているため、コンパクトなステージにも対応可能です。

ピエゾモーター方式の回転ステージは、特にコンパクトなサイズが求められる用途に適しています。これらのコンパクトな回転ステージは、光学用途で高い信頼性と優れた再現性が必要な、フィルターなどの位置決めに適しています。また、回転ステージはアダプター不要でリニアステージに取り付けることが可能なため、柔軟な組み合わせの多軸ポジショニングシステムを実現できます。

最も小さい6自由度デバイスはQ-motionピエゾモーターステージで構成されていますが、ブラシレス直流モーターによる手のひらサイズのステージもご用意しております。また、標準的であるヘキサポッド型デザインでは、全体的な性能が最も均一となります。比較的大きなチルト角度が必要な場合は、薄型デザインが推奨されます。

PIMag®磁気ダイレクトドライブリニアモーターステージ。摩擦の無い磁気ダイレクトドライブによって、ハイダイナミックステージを実現できます。また、モータースピンドル方式のステージと比較した場合、磁気ダイレクトドライブは機械コンポーネントの数が少ないため摩擦やバックラッシュが減り、より高い精度が得られます。

レーザー加工など、生産プロセスにおける産業用アプリケーションでは、モーター駆動の位置決めステージによって位置決め精度を高くすることが有用です。バリアブルステージシリーズは高さ方向のプロファイルが薄く設計されているため、テストシステムから精密オートメーションの生産ラインに至るまで、汎用的な用途に適しています。

上下駆動ステージは、リニア ステージにアダプタなしで取り付けることができます。そして多軸ポジショニング システムの柔軟性のある組み合わせを可能にします。

設置スペースが限られている場合、位置決め作業には小型ステージが不可欠です。Q-motion、PIline®、PiezoWalk®のようなピエゾモーターはダイレクトドライブを採用しているため、コンパクトなステージにも対応可能です。

PiezoMikeリニアアクチュエータはピエゾ直接駆動による高分解能、保持力、そして絶対的に安定した位置決めを提供します。これはレーザーアプリケーションの光エレメントのポジショニングのように高精度の要件があるset-and-forget (設定するだけで後の操作は一切不要) 用途に理想的です。

自動化されたリニア アクチュエータは、工業生産用途から研究所での調整用途などオートメーション ルーチンで不可欠なものです。

ボイスコイルドライブは速度に優れ、高速なステップ&整定が可能です。摩耗のないフレクシャガイド、またはメカニカルガイドを利用できます。オプションの力コントロールにより、ハプティクスデバイステストのスタンドアロンソリューションを実現できます。

PIezoMoveアクチュエータは、フレクシャガイド構造を持ち、ストロークは最大1 mmです。また、非常にコンパクトな外形寸法により組み込みが容易です。 PICMA®多層ピエゾをベースとしたナノポジショニングピエゾアクチュエータの特徴は、最大10000 Nの発生力と最大100 μmのストロークです。

PiezoWalk®アクチュエータは、システム統合を目的として高度に特殊化されたピエゾベースのドライブです。半導体業界向けに設計されており、信頼性、位置分解能、長期安定性を向上させます。本シリーズの特徴としては、高発生力とコンパクトなサイズが挙げられます。また、ドライブ自体が耐磁性を備えています。

PI社では、デジタルおよびアナログのピエゾ制御に関する幅広いコンセプトを活用して、あらゆる用途で最適な結果を実現しています。すべてのピエゾシステムは納品前に較正が行われ、すべてのシステムは操作可能な状態で納品されます。

PI社のピエゾドライバーは、ベンチトップまたはラックマウントのソリューションとして利用可能ですが、電源を切り離し小型化することで、OEMモジュールでも利用可能です。ピエゾドライバーにより、さまざまな分野に特化した高性能アンプが完成します。

ドライブとアプリケーションの両方においてお客様のご要望に最適化できるよう、PI社ではモーションコントロールに関するソリューションを自社開発しています。通常、PI社のモーションコントローラは1チャンネルデバイスとして設計されており、ベンチトップ、ラックマウント、もしくはOEMバーションに対応可能です。

モジュール式モーションコントローラーシステムにより、システムの軸数を柔軟に増やすことができるソリューションが実現します。1つのユーザーインターフェースで、さまざまなドライブタイプを使用できます。利用可能なモデル数は現在も増加中です。専用のコントローラーをご希望の方はぜひお問い合わせください。

ヘキサポッドの構造と同様にユニークなモーションコントローラーは、ユーザーがパラレルキネマティックのアルゴリズムを可能な限り簡単かつ意識せずに使用するように設計されています。すべてのターゲット位置は直交座標系で指令します。オートメーションプロセスに最適に組み込めるように、ヘキサポッドモーションコントローラーは産業用EtherCATインターフェースで利用できます。

半径方向および軸方向に収縮するピエゾチューブは、ダイナミックなスキャン動作やファイバーの伸張に使用されます。

PICMA® 積層アクチュエータは従来の積層ピエゾアクチュエータと比較して10倍の寿命と稼動時間です。

多層ベンディングアクチュエータ：大変位、ハイダイナミクス。バイモルフ構造により2方向の変位が可能です。

動作最大電圧1000 Vの積層ピエゾアクチュエータ：高信頼性、大変位、高発生力

多軸アクチュエータと剪断アクチュエータを積み上げた構造のアクチュエータは、低電力消費で優れたダイナミック性を備えています。

DuraActトランデューサは電圧と力学的エネルギーを相互変換します。アクチュエータとして、センサとして発電機としても使用可能です。

Picoactuator® ピエゾ決晶の動作は非常にリニアリティが高くヒステリシスがないため、ハイダイナミクスが要求されるアプリケーションに最適です。